下载一种半导体铜基板上料机构的技术资料

文档序号:23346920

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种半导体铜基板上料机构,包括机架、料仓机构、矫正机构、吸爪机构和推料机构。本发明半导体铜基板上料机构通过采用将铜基板在料仓机构中实现两边倒挂方式,利用铜基板重力原理可以减少一部分框架粘连,利用矫正机构将被吸取的铜基板矫正垂直、...
该专利属于大连佳峰自动化股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过大连佳峰自动化股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。