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本发明提供了一种不良分类方法及装置，属于半导体技术领域。不良分类方法，包括：利用不良特征信息与生产执行系统MES信息组成原始数据集；利用所述原始数据集构造多个子数据集，每一子数据集包括多个数据样本；对每一子数据集生成一决策树，并得到每一决策...
该专利属于西安奕斯伟硅片技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安奕斯伟硅片技术有限公司授权不得商用。

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