温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种硬件参数的监控方法、装置、半导体处理系统和计算机可读存储介质。包括：实时获取硬件参数的实际值；将硬件参数的实际值与预设的硬件参数的目标值进行比较，并当硬件参数的实际值与硬件参数的目标值一致时，将硬件参数的状态标记为第一状态；...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。