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本发明公开了一种中波红外增透膜设计及制备方法,包括步骤:膜系设计,基片清洗,基片加热,膜系镀制。基片材料为折射率为1~5的红外窗口玻璃,高折射率镀膜材料的折射率为1.5~3,低折射率镀膜材料的折射率为1~1.5,使用离子辅助沉积及合适的烘烤...该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。
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本发明公开了一种中波红外增透膜设计及制备方法,包括步骤:膜系设计,基片清洗,基片加热,膜系镀制。基片材料为折射率为1~5的红外窗口玻璃,高折射率镀膜材料的折射率为1.5~3,低折射率镀膜材料的折射率为1~1.5,使用离子辅助沉积及合适的烘烤...