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本发明提供一种基板检测装置及基板检测方法。控制部(27)及信号切换部(26)经过测定对象的多个电路图形(41、42)而形成电压测定回路。控制部(27)在校正电压测定工序，对测定对象的任一电路图形(41、42)都不供应电流的状态下，由电压测定...
该专利属于日本电产理德股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过日本电产理德股份有限公司授权不得商用。

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