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本申请公开一种基于空间自由分布光路的工业OCT检测装置及方法。所述装置包括样品臂；所述样品臂包括探头组件；所述探头组件包括光束整形单元、扫描机构和多个等光程单元；所述光束整形单元和所述扫描机构沿光的入射方向设置；所述扫描机构可使光入射至任意...
该专利属于深圳市斯尔顿科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市斯尔顿科技有限公司授权不得商用。

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