基于空间自由分布光路的工业OCT检测装置及方法制造方法及图纸

本申请公开一种基于空间自由分布光路的工业OCT检测装置及方法。所述装置包括样品臂；所述样品臂包括探头组件；所述探头组件包括光束整形单元、扫描机构和多个等光程单元；所述光束整形单元和所述扫描机构沿光的入射方向设置；所述扫描机构可使光入射至任意一个所述等光程单元；所述等光程单元用于使光照射至待测样品；所述等光程单元包括沿光的入射方向依次设置的中继反射镜和末端反射镜；所述中继反射镜和所述末端反射镜在空间中的位置和角度可使测量各个所述待测样品的样品臂光程相等。所述方法采用所述装置。本申请可实现快速检测以及可提高准确率，具有很好的灵活性，可对各种形状的工业产品进行检测。

Industrial OCT detection device and method based on spatial free distribution optical path

【技术实现步骤摘要】
基于空间自由分布光路的工业OCT检测装置及方法
本申请涉及光学相干层析成像(OCT，OpticalCoherenceTomography)
，特别涉及一种基于空间自由分布光路的工业OCT检测装置及方法。
技术介绍
品质控制已成为制造业最重要的工作之一，提高品控工作的效率和质量是提高产品品质从而扩大产品市场占有率的重要抓手。工业检测一般通过人工进行检测，例如检测手机框边的螺丝孔中的胶水残留或者加工残留的金属屑等。品控人员将手机框边放在高倍显微镜下，用肉眼观察每一个螺丝孔并判断是否有胶水残留。对于手机框边内部的螺丝孔的检测，螺丝孔数量多、孔小且深度深，常见的工业检测方式严重依赖人力，需要耗费大量的人力以及需要花费较长时间，使得检测速度慢，判断标准难以统一，准确率取决于品控人员责任心，出错率高。以上
技术介绍
内容的公开仅用于辅助理解本申请的专利技术构思及技术方案，其并不必然属于本申请的现有技术，在没有明确的证据表明上述内容在本申请的申请日已经公开的情况下，上述
技术介绍
不应当用于评价本申请的新颖性和创造性。>专利技术内本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于空间自由分布光路的工业OCT检测装置，其特征在于：包括样品臂；所述样品臂包括探头组件；所述探头组件包括光束整形单元、扫描机构和多个等光程单元；/n所述光束整形单元和所述扫描机构沿光的入射方向设置；所述扫描机构可使光入射至任意一个所述等光程单元；所述等光程单元用于使光照射至待测样品；/n所述等光程单元包括沿光的入射方向依次设置的中继反射镜和末端反射镜；/n所述中继反射镜和所述末端反射镜在空间中的位置和角度可使测量各个所述待测样品的样品臂光程相等。/n

【技术特征摘要】
1.一种基于空间自由分布光路的工业OCT检测装置，其特征在于：包括样品臂；所述样品臂包括探头组件；所述探头组件包括光束整形单元、扫描机构和多个等光程单元；
所述光束整形单元和所述扫描机构沿光的入射方向设置；所述扫描机构可使光入射至任意一个所述等光程单元；所述等光程单元用于使光照射至待测样品；
所述等光程单元包括沿光的入射方向依次设置的中继反射镜和末端反射镜；
所述中继反射镜和所述末端反射镜在空间中的位置和角度可使测量各个所述待测样品的样品臂光程相等。


2.根据权利要求1所述的工业OCT检测装置，其特征在于：所述等光程单元还包括中继导向反射镜，所述中继导向反射镜位于所述中继反射镜和所述末端反射镜之间。


3.根据权利要求1所述的工业OCT检测装置，其特征在于：所述光束整形单元包括沿光的入射方向依次设置的一个或多个透镜。


4.根据权利要求3所述的工业OCT检测装置，其特征在于：所述扫描机构位于两个所述透镜之间。


5.根据权利要求2所述的工业OCT检测装置，其特征在于：所述中继反射镜、所述中继导向反射镜和所述末端反射镜在空间中的位置和角度均是可调的。


6.根据权利要求2所述的工业OCT检测装置，其特征在于：所...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡守东，吴蕾，代祥松，郭曙光，李鹏，
申请(专利权)人：深圳市斯尔顿科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44