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一种电弧离子镀自清洁刻蚀阳极装置，包括真空室、弧源、转架、阳极屏蔽罩、挡板及偏压电源、切换开关电源；弧源正电子端接刻蚀阳极上，弧源负电子端接弧靶阴极接线柱上，以此构成弧光放电阴阳极回路；阳极屏蔽罩设置在刻蚀阳极背部及侧面；挡板设置在弧靶阴极...
该专利属于苏州艾钛科纳米科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州艾钛科纳米科技有限公司授权不得商用。

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