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一种电弧离子镀自清洁刻蚀阳极装置,包括真空室、弧源、转架、阳极屏蔽罩、挡板及偏压电源、切换开关电源;弧源正电子端接刻蚀阳极上,弧源负电子端接弧靶阴极接线柱上,以此构成弧光放电阴阳极回路;阳极屏蔽罩设置在刻蚀阳极背部及侧面;挡板设置在弧靶阴极...该专利属于苏州艾钛科纳米科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州艾钛科纳米科技有限公司授权不得商用。
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一种电弧离子镀自清洁刻蚀阳极装置,包括真空室、弧源、转架、阳极屏蔽罩、挡板及偏压电源、切换开关电源;弧源正电子端接刻蚀阳极上,弧源负电子端接弧靶阴极接线柱上,以此构成弧光放电阴阳极回路;阳极屏蔽罩设置在刻蚀阳极背部及侧面;挡板设置在弧靶阴极...