下载一种自清洁刻蚀阳极装置的技术资料

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一种电弧离子镀自清洁刻蚀阳极装置,包括真空室、弧源、转架、阳极屏蔽罩、挡板及偏压电源、切换开关电源;弧源正电子端接刻蚀阳极上,弧源负电子端接弧靶阴极接线柱上,以此构成弧光放电阴阳极回路;阳极屏蔽罩设置在刻蚀阳极背部及侧面;挡板设置在弧靶阴极...
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