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文档序号:23330287

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本发明提供一种研磨工具,该研磨工具包括一基座、一多孔隙层、以及一多孔洞研磨层,该基座具有一工作面以及形成在该基座内的一流体通道,该流体通道具有贯穿该工作面的一出口侧;该多孔隙层设置在该流体通道的该出口侧;而该多孔洞研磨层则设置在该多孔隙层的...
该专利属于中国砂轮企业股份有限公司;纳腾股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中国砂轮企业股份有限公司;纳腾股份有限公司授权不得商用。

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