下载抛光盘及抛光系统的技术资料

文档序号:23330207

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本申请提供了抛光盘及抛光系统,涉及光学元件精密加工技术领域。一种抛光盘,抛光盘的内部具有用于储存抛光液的储存腔,抛光盘的抛光面开设有出液口,出液口通过设置于抛光盘内部的通道与储存腔连通。该抛光盘的储存腔内储存有抛光液,在抛光时,抛光盘的抛光...
该专利属于中国工程物理研究院激光聚变研究中心所有,仅供学习研究参考,未经过中国工程物理研究院激光聚变研究中心授权不得商用。

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