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本实用新型公开了一种用于碳化硅晶片研磨用固定机构，包括底座，所述底座的两侧内壁通过螺栓固定有同一个底板，且底板顶部外壁的一侧通过螺栓固定有减速电机，所述减速电机的输出轴上套接有主动齿轮，所述底座顶部外壁通过轴承固定有研磨盘，且研磨盘底部外壁...
该专利属于同辉电子科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过同辉电子科技股份有限公司授权不得商用。

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