一种用于碳化硅晶片研磨用固定机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于碳化硅晶片研磨用固定机构，包括底座，所述底座的两侧内壁通过螺栓固定有同一个底板，且底板顶部外壁的一侧通过螺栓固定有减速电机，所述减速电机的输出轴上套接有主动齿轮，所述底座顶部外壁通过轴承固定有研磨盘，且研磨盘底部外壁的两侧均通过螺栓固定有支撑板，所述底座顶部外壁开设有环形的滑槽，两个所述支撑板滑动连接在滑槽的内壁上，所述底座的两侧外壁通过螺栓固定有同一个支撑架。本实用新型专利技术通过在气缸上的活塞杆上设置连接机构，避免压紧盘出现偏移导致研磨不均匀的问题，通过在研磨盘底部设置支撑板，避免研磨盘在工作时受力不均匀导致研磨盘倾斜。

A fixed mechanism for grinding silicon carbide wafer

【技术实现步骤摘要】
一种用于碳化硅晶片研磨用固定机构
本技术涉及研磨
，尤其涉及一种用于碳化硅晶片研磨用固定机构。
技术介绍
碳化硅晶片的主要应用领域有LED固体照明和高频率器件。该材料具有高出传统硅数倍的禁带、漂移速度、击穿电压、热导率、耐高温等优良特性，在高温、高压、高频、大功率、光电、抗辐射、微波性等电子应用领域和航天、军工、核能等极端环境应用有着不可替代的优势。国内独家碳化硅单晶供应商，在研发、技术、市场开发及商业运作等方面处绝对领先地位，已成功掌握76mm(3英寸)超大宝石级SiC2晶体生长核心技术工艺，达到国际2001年先进水平。现有的碳化硅晶片在研磨过程中由于研磨盘和压紧盘直接的接触问题，压紧盘固定不稳容易导致研磨盘上的碳化硅晶片研磨不均匀。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种用于碳化硅晶片研磨用固定机构。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种用于碳化硅晶片研磨用固定机构，包括底座，所述底座的两侧内壁通过螺栓固定有同一个底板，且底板顶部外壁的一侧通过螺栓固定有本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于碳化硅晶片研磨用固定机构，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)的两侧内壁通过螺栓固定有同一个底板(2)，且底板(2)顶部外壁的一侧通过螺栓固定有减速电机(3)，所述减速电机(3)的输出轴上套接有主动齿轮(4)，所述底座(1)顶部外壁通过轴承固定有研磨盘(7)，且研磨盘(7)底部外壁的两侧均通过螺栓固定有支撑板，所述底座(1)顶部外壁开设有环形的滑槽(8)，两个所述支撑板滑动连接在滑槽(8)的内壁上，所述底座(1)的两侧外壁通过螺栓固定有同一个支撑架(6)，所述支撑架(6)顶部外壁通过螺栓固定有安装板(9)，且安装板(9)底部外壁的两侧均开设有安装槽，两个所述安装槽的内壁均通过...

【技术特征摘要】
1.一种用于碳化硅晶片研磨用固定机构，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)的两侧内壁通过螺栓固定有同一个底板(2)，且底板(2)顶部外壁的一侧通过螺栓固定有减速电机(3)，所述减速电机(3)的输出轴上套接有主动齿轮(4)，所述底座(1)顶部外壁通过轴承固定有研磨盘(7)，且研磨盘(7)底部外壁的两侧均通过螺栓固定有支撑板，所述底座(1)顶部外壁开设有环形的滑槽(8)，两个所述支撑板滑动连接在滑槽(8)的内壁上，所述底座(1)的两侧外壁通过螺栓固定有同一个支撑架(6)，所述支撑架(6)顶部外壁通过螺栓固定有安装板(9)，且安装板(9)底部外壁的两侧均开设有安装槽，两个所述安装槽的内壁均通过螺栓固定有气缸(10)，两个所述气缸(10)的活塞杆上设置有连接机构(11)，且两个连接机构(11)的底部外壁均设置有压紧盘(12)。


2.根据权利要求1所述的一种用于碳化硅晶片研磨用固定机构，其特征在于，所述底座(1)的两侧内壁通过螺栓固定有同一个隔板，所述隔板顶部外壁开...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐景庭，曾昊，李晓波，甘琨，韩建坤，
申请(专利权)人：同辉电子科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13