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采用直接源极接触和空穴电流检测的三维存储器器件及其制造方法技术
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下载采用直接源极接触和空穴电流检测的三维存储器器件及其制造方法的技术资料
文档序号:23319747
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本公开提供了一种三维存储器器件,所述三维存储器器件包括:p掺杂源极半导体层,所述p掺杂源极半导体层位于衬底上方;p掺杂带半导体层,所述p掺杂带半导体层位于所述p掺杂源极半导体层上方;导电层和绝缘层的交替叠堆,所述交替叠堆位于所述p掺杂带半导...
该专利属于闪迪技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过闪迪技术有限公司授权不得商用。
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