下载体声波谐振器的技术资料

文档序号:23318082

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本公开提供一种体声波谐振器,所述体声波谐振器包括:基板;第一电极,设置在所述基板上;压电层,所述压电层的至少一部分设置在所述第一电极上;第二电极,设置在所述压电层上;以及钝化层,设置为覆盖所述第一电极和所述第二电极。所述第一电极和所述第二电...
该专利属于三星电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电机株式会社授权不得商用。

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