【技术实现步骤摘要】
体声波谐振器本申请要求于2018年7月24日在韩国知识产权局提交的第10-2018-0085889号韩国专利申请的优先权的权益，所述韩国专利申请的全部公开内容出于所有目的通过引用被包含于此。
本公开涉及一种体声波谐振器。
技术介绍
最近，对5G通信技术的兴趣已经增加了能够在候选频带中实现的技术的发展。目前正在薄膜体声波谐振器(FBAR)中使用的频带为大约6GHz或更小。在2GHz至3GHz的频带中工作的薄膜型体声波谐振器的示例中，电极和压电层的厚度相对大，从而可容易地制造薄膜型体声波谐振器。在5GHz的频带中工作的薄膜型体声波谐振器的示例中，预计存在显著的工艺难度和性能劣化。具体地，在5GHz的频带中工作的薄膜体声波谐振器的示例中，由于通常应该实现超薄的电极，因此压电层的厚度也可相对薄。为了实现这样的超薄的电极，电极可利用诸如铝(Al)的材料形成。然而，当电极利用诸如铝(Al)的软材料形成时，由于可能发生构成电极的材料(颗粒)在压电层和/或钝化层的沉积期间的迁移，因此可能存在诸如空隙的表面缺陷...
【技术保护点】
1.一种体声波谐振器，包括：/n基板；/n第一电极，设置在所述基板上；/n压电层，所述压电层的至少一部分设置在所述第一电极上；/n第二电极，设置在所述压电层上；以及/n钝化层，设置为覆盖所述第一电极和所述第二电极，/n其中，所述第一电极和所述第二电极中任意一者或者两者包含铝合金层，并且/n所述压电层和所述钝化层中的任意一者或两者包含氮化铝或者添加有掺杂材料的氮化铝，并且所述压电层和所述钝化层中的任意一者或两者具有小于1.58的c/a的比，其中，c为面外晶格常数，a为面内晶格常数。/n
【技术特征摘要】
20180724 KR 10-2018-00858891.一种体声波谐振器，包括：
基板；
第一电极，设置在所述基板上；
压电层，所述压电层的至少一部分设置在所述第一电极上；
第二电极，设置在所述压电层上；以及
钝化层，设置为覆盖所述第一电极和所述第二电极，
其中，所述第一电极和所述第二电极中任意一者或者两者包含铝合金层，并且
所述压电层和所述钝化层中的任意一者或两者包含氮化铝或者添加有掺杂材料的氮化铝，并且所述压电层和所述钝化层中的任意一者或两者具有小于1.58的c/a的比，其中，c为面外晶格常数，a为面内晶格常数。
2.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其中，所述铝合金层包含钪。
3.根据权利要求2所述的体声波谐振器，其中，所述钪的含量为0.1at％到5at％。
4.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其中，所述压电层和所述钝化层的所述掺杂材料包含从由钪、铒、钇、镧、钛、锆、铪、钽和铌或它们的组合组成的组中选择的一者。
5.根据权利要求4所述的体声波谐振器，所述压电层和所述钝化层的所述掺杂材料的含量为0.1at％到30at％。
6.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其中，所述压电层和所述钝化层中的任意一者或两者在堆叠时受到张力。
7.根据权利要求2所述的体声波谐振器，其中，所述第一电极和所述第二电极均包含含有钪的铝合金层。
8.根据权利要求2所述的体声波谐振器，其中，所述第一电极包括利用钼、钌、钨、铱、铂、铜、钛、钽、镍和铬中的任意一者形成的层或者包括利用包含从由钼、钌、钨、铱、铂、铜、钛、钽、镍和铬组成的组中选择的任意一者的合金形成的层，并且
所述第二电极包含含有钪的铝合金层。
9.根据权利要求2所述的体声波谐振器，其中，所述第一电极包含含有钪的铝合金层，并且
所述第二电极包括利用钼、钌、钨、铱、铂、铜、钛、钽、镍和铬中的任意一者形成的层或者包括利用包含从由钼、钌、钨、铱、铂、铜、钛、钽、镍和铬组成的组中选择的任意一者的合金形成的层。
10.根据权利要求7所述的体声波谐振器，其中，所述第一电极包括1-1电极层和1-2电极层，所述1-1电极层包括利用钼、钌、钨、铱、铂、铜、钛、钽、镍和铬中的任意一者形成的层或者包括利用包含从由钼、钌、钨、铱、铂、铜、钛、钽、镍和铬组成的组中选择的任意一者的合金形成的层，所述1-2电极层设置在所述1-1电极层的上部并且包括含有钪的铝合金层。
11.根据权利要求7所述的体声波谐振器，其中，所述第一电极包括1-1电极层和1-2电极层，所述1-1电极层包括含有钪的铝合金层，所述1-2电极层设置在所述1-1电极层的上部并且包括利用钼、钌、钨、铱、铂、铜、钛、钽、镍和铬中的任意一者形成的层或者包括...
【专利技术属性】
技术研发人员：申兰姬，李泰京，庆济弘，孙晋淑，李华善，金成善，
申请(专利权)人：三星电机株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国;KR
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