下载一种太阳能硅片导置交换的方法及装置的技术资料

文档序号:23317326

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本发明提供一种太阳能硅片导置交换的方法及装置,属于自动化设备技术领域。本发明包括以下步骤:存储生片的花篮输送至花篮上下料工位,由花篮上下料机械手将生片放入中转机构生片暂存区域;中转机构上游为熟片暂存区域下游为生片暂存区域;装载熟片的石英舟到...
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