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太赫兹信号探测器及其制备方法技术
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文档序号:23317250
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本发明提供了一种太赫兹信号探测器,所述太赫兹信号探测器包括衬底及设置于所述衬底上的太赫兹信号探测像素阵列,所述太赫兹信号探测像素阵列包括多条信号线、多条数据线以及由所述多条信号线和所述多条数据线交叉限定的多个像素单元,每一个所述像素单元包括...
该专利属于深圳先进技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过深圳先进技术研究院授权不得商用。
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