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堆叠式基于薄膜晶体管的嵌入式动态随机存取存储器制造技术
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下载堆叠式基于薄膜晶体管的嵌入式动态随机存取存储器的技术资料
文档序号:23317233
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本文描述的是使用TFT作为选择器晶体管的嵌入式动态随机存取存储器(eDRAM)单元的阵列。在将至少一些选择器晶体管实施为TFT时,可以在衬底上方的不同层中提供不同eDRAM单元,从而实现堆叠架构。示例性堆叠式基于TFT的eDRAM包括提供于...
该专利属于英特尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过英特尔公司授权不得商用。
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