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用于制造显示装置的设备制造方法及图纸
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下载用于制造显示装置的设备的技术资料
文档序号:23317121
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提供了一种用于制造显示装置的设备。所述用于制造显示装置的设备包括:腔室;多个源单元,位于腔室的外部,其中,多个源单元容纳沉积材料并将沉积材料转化为气体;喷嘴单元,位于腔室中,其中,喷嘴单元连接到多个源单元,并且将从多个源单元中的一个源单元供...
该专利属于三星显示有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三星显示有限公司授权不得商用。
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