用于制造显示装置的设备制造方法及图纸

提供了一种用于制造显示装置的设备。所述用于制造显示装置的设备包括：腔室；多个源单元，位于腔室的外部，其中，多个源单元容纳沉积材料并将沉积材料转化为气体；喷嘴单元，位于腔室中，其中，喷嘴单元连接到多个源单元，并且将从多个源单元中的一个源单元供应的沉积材料喷射到腔室中；以及调节单元，位于多个源单元中的每个源单元与喷嘴单元之间，其中，调节单元使从多个源单元中的每个源单元供应到喷嘴单元的沉积材料中断，并且选择性地将多个源单元与喷嘴单元连接。

Equipment for manufacturing display devices

【技术实现步骤摘要】
用于制造显示装置的设备本申请要求于2018年7月30日在韩国知识产权局提交的第10-2018-0088668号韩国专利申请的优先权和权益，该韩国专利申请的公开内容通过引用全部包含于此。
一个或更多个实施例涉及一种用于制造显示装置的设备和一种制造该显示装置的方法。
技术介绍
移动电子设备被广泛使用。近年来，除了诸如移动电话等的小型电子设备之外，平板个人计算机(PC)广泛用作移动电子设备。这样的移动电子设备包括用于向用户提供诸如图像或视频的视觉信息的显示装置，以支持各种功能。随着用于驱动显示装置的组件的尺寸减小，显示装置在移动电子设备中已经开始占据增大的比例，并且可以利用用于将平坦显示装置弯折一定角度的结构。为了制造显示装置，可以形成各种层。另外，通常，用于制造显示装置的设备用于形成这样的层，并且在单个操作中制造多个显示装置。这里，用于制造显示装置的设备会在被维修以替换内部组件等之后在特定的时间段之后重新开始操作。该
技术介绍
部分中公开的上述信息仅用于增强对专利技术的背景的理解，因此，该
技术介绍
部分中的信息不必构成现有本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于制造显示装置的设备，所述设备包括：/n腔室；/n多个源单元，位于所述腔室的外部，其中，所述多个源单元被构造为容纳沉积材料并将所述沉积材料转化为气体；/n喷嘴单元，位于所述腔室中并连接到所述多个源单元，其中，所述喷嘴单元被构造为将从所述多个源单元中的一个源单元供应的所述沉积材料喷射到所述腔室中；以及/n调节器，位于所述多个源单元中的每个源单元与所述喷嘴单元之间，其中，所述调节器被构造为控制从所述多个源单元中的每个源单元供应到所述喷嘴单元的所述沉积材料，并且选择性地将所述多个源单元与所述喷嘴单元连接。/n

【技术特征摘要】
20180730 KR 10-2018-00886681.一种用于制造显示装置的设备，所述设备包括：
腔室；
多个源单元，位于所述腔室的外部，其中，所述多个源单元被构造为容纳沉积材料并将所述沉积材料转化为气体；
喷嘴单元，位于所述腔室中并连接到所述多个源单元，其中，所述喷嘴单元被构造为将从所述多个源单元中的一个源单元供应的所述沉积材料喷射到所述腔室中；以及
调节器，位于所述多个源单元中的每个源单元与所述喷嘴单元之间，其中，所述调节器被构造为控制从所述多个源单元中的每个源单元供应到所述喷嘴单元的所述沉积材料，并且选择性地将所述多个源单元与所述喷嘴单元连接。


2.根据权利要求1所述的用于制造显示装置的设备，所述设备还包括：
传感器，位于所述多个源单元中的每个源单元中，所述传感器被构造为测量所述多个源单元中的每个源单元的内部温度。


3.根据权利要求2所述的用于制造显示装置的设备，其中，所述调节器还被构造为将所述多个源单元之中的其所述内部温度大于预设温度的源单元与所述喷嘴单元断开，并且将所述多个源单元之中的其所述内部温度等于或小于所述预设温度的源单元连接到所述喷嘴单元。


4.根据权利要求1所述的用于制造显示装置的设备，其中，所述多个源单元中的每个源单元是可替换的。


5.根据权利要求1所述的用于制造显示装置的设备，所述设备还包括：
源腔室单元，所述多个源单元中的至少一个源单元布置在所述源腔室单元中。


6.根据权利要求1所述的用于制造显示装置的设备，其中，所述喷嘴单元包括：
第一喷嘴单元，连接到所述多个源单元中的至少一个源单元；以及
第二喷嘴单元，与所述第一喷嘴单元分开，并且连接到所述多个源单元之中的至少一个其他源单元。


7.根据权利要求6所述的用于制造显示装置的设备，其中，所述第一喷嘴单元中的第一喷嘴和所述第二喷嘴单元中的第二喷嘴位于所述第一喷嘴单元的中心与所述第二喷嘴单元的中心之间。


8.根据权利要求7所述的用于制造显示装置的设备，其中，所述第一喷嘴和所述第二喷嘴布置成列。

【专利技术属性】
技术研发人员：韩尚辰，朴俊河，姜有珍，金东昱，卢喆来，薛在完，郑成镐，许明洙，徐敏逵，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR