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芯片沟槽的制备方法与芯片的制备方法技术
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文档序号:23317085
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本发明涉及一种芯片沟槽的制备方法与芯片的制备方法,该芯片沟槽的制备方法包括:提供衬底,在所述衬底的表面预设沟槽区和包围所述沟槽区的非沟槽区;其中,所述非沟槽区包括预设的阻挡区和过渡区,所述过渡区包围所述沟槽区,所述阻挡区包围所述过渡区;在所...
该专利属于珠海格力电器股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过珠海格力电器股份有限公司授权不得商用。
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