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本发明公开了一种基于组合树模型的半导体PVD制程的电阻率虚拟量测方法，包括以下步骤：一、将基于组合预测方法[7]构建集成树组合模型，对WAT的电气参数进行在线虚拟量测；二、该集成树组合模型将4种集成树作为基学习器对晶圆制程状态信息进行初步虚...
该专利属于上海众壹云计算科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海众壹云计算科技有限公司授权不得商用。

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