下载利用光刻、电铸工艺制作微透镜阵列的方法的技术资料

文档序号:23314020

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本发明公开了一种利用光刻、电铸工艺制作微透镜阵列的方法,先将光刻胶板进行光刻,然后将此光刻胶板进行电铸复制,将电铸所得的镍板再进行电铸复制,得到镍工作板;将镍工作板黏贴于玻璃板上,再在具有蜂窝状结构的镍工作板的表面涂覆一薄层紫外固化胶,用抽...
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