【技术实现步骤摘要】
利用光刻、电铸工艺制作微透镜阵列的方法
本专利技术涉及微细加工类的微透镜阵列制作
，具体涉及一种利用光刻、电铸工艺制作微透镜阵列的方法。
技术介绍
近年来，微透镜阵列在光电
中得到了广泛的应用，如聚焦平面光学元件，光效增强器，光照均匀器，光束成形器，微型光扫描器，彩色滤光片，甚至于光学防伪标志。近年来，也开发了多种制作技术，但都属于比较复杂的精细加工技术，设备比较复杂，制作工序也比较复杂，工艺流程较长。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服现有技术的不足，提供了一种利用光刻、电铸工艺制作微透镜阵列的方法，该方法采用比较简单的工艺流程来制作微透镜阵列，其简化工艺，降低成本，缩短制作流程。为实现上述目的，本专利技术所设计一种利用光刻、电铸工艺制作微透镜阵列的方法，包括以下步骤：1)根据微透镜阵列的尺寸准备所需要的正性光刻胶板和具有铬膜的玻璃光掩模版；2)将玻璃光掩模版的铬膜面与正性光刻胶板的胶面紧贴并夹紧，然后用紫外灯进行均匀曝光光刻，使紫外线穿过玻璃光掩模版照射到正性光...
【技术保护点】
1.一种利用光刻、电铸工艺制作微透镜阵列的方法，其特征在于：包括以下步骤：/n1)根据微透镜阵列的尺寸准备所需要的正性光刻胶板和具有铬膜的玻璃光掩模版；/n2)将玻璃光掩模版的铬膜面与正性光刻胶板的胶面紧贴并夹紧，然后用紫外灯进行均匀曝光光刻，使紫外线穿过玻璃光掩模版照射到正性光刻胶板上；曝光后，取下玻璃光掩模版，将正性光刻胶板置于氢氧化钠溶液中显影，即得到具有蜂窝状结构的光刻胶板；其中，光刻深度应刻透胶层厚度；/n3)将具有蜂窝状结构的光刻胶板表面进行金属化处理后，再对光刻胶板表面进行电铸，从光刻胶板上剥离得到电铸层即为镍板；/n4)将电铸所得的镍板进行钝化处理，再次进行...
【技术特征摘要】
1.一种利用光刻、电铸工艺制作微透镜阵列的方法，其特征在于：包括以下步骤：
1)根据微透镜阵列的尺寸准备所需要的正性光刻胶板和具有铬膜的玻璃光掩模版；
2)将玻璃光掩模版的铬膜面与正性光刻胶板的胶面紧贴并夹紧，然后用紫外灯进行均匀曝光光刻，使紫外线穿过玻璃光掩模版照射到正性光刻胶板上；曝光后，取下玻璃光掩模版，将正性光刻胶板置于氢氧化钠溶液中显影，即得到具有蜂窝状结构的光刻胶板；其中，光刻深度应刻透胶层厚度；
3)将具有蜂窝状结构的光刻胶板表面进行金属化处理后，再对光刻胶板表面进行电铸，从光刻胶板上剥离得到电铸层即为镍板；
4)将电铸所得的镍板进行钝化处理，再次进行电铸，得到蜂窝状结构的镍板，即为镍工作板；
5)将镍工作板黏贴于有机玻璃板上，并对镍工作板进行钝化处理；
6)在钝化后的镍工作板的表面涂上一层紫外固化胶，并置于真空室内，抽真空，使蜂窝结构的腔内的残余空气排出，使紫外固化胶完全充填满蜂窝结构的腔内；然后，将其置于高速离心机上，启动离心机，将多余的紫外固化胶甩掉，每个蜂窝内的紫外固化胶的液面在表面张力的作用下，形成曲率半径为R的球面；
7)将表面紫外固化胶已固化的镍工作板进行金属化处理后，进行电铸复制，得到制作凹微透镜阵列的镍模板；
或者，将表面紫外固...
【专利技术属性】
技术研发人员：汤炼，肖义明，胡方斌，
申请(专利权)人：湖北兴龙包装材料有限责任公司，
类型：发明
国别省市：湖北;42
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