下载压力传感器芯片的技术资料

文档序号:23312944

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本发明提供一种压力传感器芯片,以提高止动构件与传感器膜片的接合部的断裂韧性,并使得不会因为由低压引起的传感器膜片的轻微变形而导致其破坏。在止动构件(1‑2)的周缘部(1‑2b)中设置环状的壁(1‑5),环状的壁(1‑5)的内壁面(1‑5a)...
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