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一种防止偏移的半导体生产用镀膜装置制造方法及图纸
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文档序号:23303072
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本发明公开了一种防止偏移的半导体生产用镀膜装置,一种防止偏移的半导体生产用镀膜装置,包括设备主体、竖向螺旋杆、连接套、第一转轴、卡槽、第二镀膜装置、第二转轴、第二齿轮、第一丝杆、第一轴承、转动转盘、待加工半导体和扇叶,所述设备主体上端设置有...
该专利属于孙传保所有,仅供学习研究参考,未经过孙传保授权不得商用。
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