下载一种防止偏移的半导体生产用镀膜装置的技术资料

文档序号:23303072

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本发明公开了一种防止偏移的半导体生产用镀膜装置,一种防止偏移的半导体生产用镀膜装置,包括设备主体、竖向螺旋杆、连接套、第一转轴、卡槽、第二镀膜装置、第二转轴、第二齿轮、第一丝杆、第一轴承、转动转盘、待加工半导体和扇叶,所述设备主体上端设置有...
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