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将薄层转移到具有不同的热膨胀系数的支撑衬底上的方法技术
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下载将薄层转移到具有不同的热膨胀系数的支撑衬底上的方法的技术资料
文档序号:23293729
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将包含第一材料的薄层(3)转移到包含第二材料的支撑衬底(7)上的方法,第一材料和第二材料具有不同的热膨胀系数。转移薄层(3)的方法包括:提供供体衬底(1),该供体衬底由处置衬底(1b)以及通过第一材料形成的厚层(1a)的组装件构成,处置衬底...
该专利属于索泰克公司所有,仅供学习研究参考,未经过索泰克公司授权不得商用。
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