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一种铌酸锂脊型光波导的制备方法技术
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文档序号:23287110
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本发明公开了一种铌酸锂脊型光波导的制备方法,选择光学级Z切0.35mm厚的同成份铌酸锂晶片作为基底,在240℃下进行轻质子交换接近20小时,制成平面波导,质子源采用苯甲酸和苯甲酸锂的混合物;在+Z面平面波导上采用紫外光刻制作出条宽近2‑4μ...
该专利属于天津大学所有,仅供学习研究参考,未经过天津大学授权不得商用。
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