下载一种根据基板尺寸自动校准机台参数的方法及装置的技术资料

文档序号:23286078

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本发明公开了一种根据基板尺寸自动校准机台参数的方法及装置。所述方法包括:建立直角坐标系;根据各图像采集装置的第一坐标,以及将基板放置于滑台上后,基板上至少一个标记点的第二坐标,计算将各标记点移动至对应图像采集装置的拍摄范围内时,滑台需移动的...
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