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本发明公开了一种检测芯片衬底厚度的台阶仪，包括固定底座，所述固定底座的顶部固定连接有支撑架，所述支撑架的顶部固定连接有控制装置，所述控制装置的底部固定连接有升降驱动装置，所述升降驱动装置输出轴的底端固定连接有检测模组，本发明涉及台阶仪技术领...
该专利属于武汉奥亿特科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉奥亿特科技有限公司授权不得商用。

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