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本发明公开了一种防打火齿轮及磁控溅射镀膜装置，防打火齿轮包括：齿轮主体，齿轮主体包括绝缘齿轮环和套设于绝缘齿轮环内的强化套环，强化套环的外壁与绝缘齿轮环的内壁连接，强化套环的外壁与绝缘齿轮环的内壁贴合，绝缘齿轮环的外壁设有多个轮齿，绝缘齿轮...
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