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一种通过激光诱导前向转移制备微透镜阵列的方法与装置制造方法及图纸
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下载一种通过激光诱导前向转移制备微透镜阵列的方法与装置的技术资料
文档序号:23277709
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本发明公开了一种通过激光诱导前向转移制备微透镜阵列的方法与装置,包括激光器、光路调节模块以及材料转移模块,光路调节模块用于调整激光束的传递光路,光路调节模块具有光路进口和光路出口;材料转移模块包括第一XYZ轴移动平台、接收基片和透明基片,接...
该专利属于华南理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过华南理工大学授权不得商用。
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