下载磁控溅射镀膜固定装置的技术资料

文档序号:23265337

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本实用新型公开了磁控溅射镀膜固定装置,主体,工件架,所述主体内成型有第一空腔,所述工件架竖直固定于第一空腔内,工件架顶部与第一空腔顶部连接,工件架底部与第一空腔底部连接,所述主体右侧竖直设有主体门,主体门左侧与主体右侧连接,所述主体门左侧壁...
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