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n型单晶硅的制造方法、n型单晶硅的锭、硅晶片及外延硅晶片技术
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文档序号:23242176
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本发明提供一种n型单晶硅的制造方法,其通过提拉法,从含有红磷作为主要掺杂剂的硅熔液(9)中提拉单晶硅(10)并使其生长,所述n型单晶硅的制造方法中,使用内径为单晶硅(10)的直体直径的1.7倍以上且2.3倍以下的石英坩埚(3A),进行电阻率...
该专利属于胜高股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过胜高股份有限公司授权不得商用。
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