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本发明的提出了一种基于氧化镓的三维日盲光电探测器，为高性能3D日盲光电探测器的制备和研究奠定基础。本发明是按照下述步骤进行的：(1)清洗柔性衬底；(2)采用射频磁控溅射技术在柔性衬底上室温沉积a‑Ga...
该专利属于郑州大学所有，仅供学习研究参考，未经过郑州大学授权不得商用。

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