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本发明提供一种单晶制绒的提拉方法及装置，其中，单晶制绒的慢提拉方法，用于硅片的预脱水中，所述硅片装在花篮的插槽中，包括：在所述硅片离开水的表面之前，将盛装所述硅片的花篮倾斜第一角度；在所述硅片离开水的表面之后，将盛装所述硅片的花篮倾斜第二角...
该专利属于晶海洋半导体材料(东海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过晶海洋半导体材料(东海)有限公司授权不得商用。

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