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本实用新型提供一种硅波导分布式布拉格反射镜集成的波导型锗基光电探测器,波导型锗基光电探测器包括:锗基光电探测器;硅波导结构,连接于所述锗基光电探测器的第一端;硅波导分布式布拉格反射镜,连接于所述锗基光电探测器的第二端。与传统波导型探测器相比...该专利属于上海新微技术研发中心有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海新微技术研发中心有限公司授权不得商用。
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本实用新型提供一种硅波导分布式布拉格反射镜集成的波导型锗基光电探测器,波导型锗基光电探测器包括:锗基光电探测器;硅波导结构,连接于所述锗基光电探测器的第一端;硅波导分布式布拉格反射镜,连接于所述锗基光电探测器的第二端。与传统波导型探测器相比...