下载喷淋头装置及MOCVD设备的技术资料

文档序号:23223895

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本实用新型提供一种喷淋头装置及MOCVD设备,该喷淋头装置包括固定部件(1)和旋转部件(2),固定部件(1)和旋转部件(2)通过第一动密封结构(3)密封对接,形成一封闭空间(4),其中,在固定部件(1)中设置有进气口(5),该进气口(5)与...
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