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本实用新型公开了一种远程等离子清洁PECVD腔室的设备，其包括腔室；用于提供气体的气柜；在腔室顶部，通过电缆与主机联接的远程等离子发生器，所述远程等离子发生器的进气口与气柜的出气口连接，远程等离子发生器的进出气口与腔室的进气口连接；在气柜和...
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