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一种膜下缺陷检测方法及膜下缺陷检测设备(100)，膜下缺陷检测方法包括步骤：通过光学显微镜(10)对被检测物(Y)进行检测，确定被检测物(Y)的缺陷的第一坐标信息(S10)；根据光学显微镜(10)与扫描装置(20)及切割装置(30)的位置关...
该专利属于深圳市柔宇科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市柔宇科技有限公司授权不得商用。

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