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本发明提供了一种表面声波滤波器件及其制造方法，先将小尺寸的压电晶圆分割成多个压电晶粒，并临时键合到大尺寸的载体晶圆上，由此可以在载体晶圆尺寸对应的大尺寸晶圆加工机台上完成表面声波滤波器件的制作过程，即使得表面声波滤波器件的制作工艺和大尺寸晶...
该专利属于中芯集成电路制造(绍兴)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯集成电路制造(绍兴)有限公司授权不得商用。

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