下载一种碳化硅CMOS晶体管及其结构制造方法的技术资料

文档序号:23214318

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本发明涉及半导体集成电路技术领域,公开了一种碳化硅CMOS结构,其中PMOS晶体管主要包括一N型+衬底,其上方依次为一P+型隔离层,一P型隔离层,一N+型体接触层,一N型体区域。在N型体区域上方两侧分别有一P+型源区,一P+型漏区;一栅介质...
该专利属于深圳第三代半导体研究院所有,仅供学习研究参考,未经过深圳第三代半导体研究院授权不得商用。

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