下载用于汽化和递送经汽化源材料的汽化器组合件的技术资料

文档序号:23200764

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本实用新型是针对一种用于汽化和递送经汽化源材料的汽化器组合件。所述汽化器组合件具有改进的汽化器器皿主体和位于其中的支撑托盘组合件配置,它们一起增加了可汽化材料利用率和均匀性。...
该专利属于恩特格里斯公司所有,仅供学习研究参考,未经过恩特格里斯公司授权不得商用。

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