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本发明提供一种赋予高灵敏度且高分辨率的图案的不含碳数4以上的全氟烷基的含氟聚合物，其是在与光产酸剂一起制成膜时，制膜后显示出拒水性，通过光照射而因酸成为亲水性的图案形成材料。本发明的含氟聚合物的特征在于含有式(1)所示的重复单元。(式中，R...
该专利属于中央硝子株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过中央硝子株式会社授权不得商用。

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