下载激光SE结构图案制作方法、装置、设备及存储介质的技术资料

文档序号:23192589

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本发明公开了一种硅片表面的激光SE结构的制作方法,包括:预先设定在硅片表面制作激光SE结构图案的激光移动轨迹;其中,硅片为表面采用管式扩散技术,进行了磷源扩散掺杂的硅片;按照激光移动轨迹,控制照射在硅片表面的激光移动,制备细栅线图案,且控制...
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