下载一种可实现运动解耦的两自由度柔顺精密定位平台的技术资料

文档序号:23192227

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本发明公开了一种可实现运动解耦的两自由度柔顺精密定位平台,包括:定平台;第一微动平台,其通过第一柔顺机构与所述定平台连接,所述第一柔顺机构使所述第一微动平台沿横向微动;第二微动平台,其通过第二柔顺机构与所述第一微动平台连接,所述第二柔顺机构...
该专利属于中国地质大学(武汉)所有,仅供学习研究参考,未经过中国地质大学(武汉)授权不得商用。

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