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本发明公开了一种气敏探测模块、制造方法及系统，该气敏探测模块，包括半导体基底，在所述半导体基底上集成有若干个气敏传感器阵列单元和外部电路；所述外部电路，用于对外部电压进行分压；所述气敏传感器阵列单元均包括电极阵列和气体探测薄膜阵列；所述气体...
该专利属于华南理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过华南理工大学授权不得商用。

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