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本发明涉及用于高纯薄膜沉积的原子层沉积系统。柜体包括前柜体和后柜体，反应腔安装在前柜体顶部，反应腔包含外腔体和多个内腔处理单元，多个的内腔处理单元在外腔体内呈多层分布，每个内腔处理单元均包括内腔体、内腔上盖和内腔加热器，内腔体与内腔上盖构成...
该专利属于江苏迈纳德微纳技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏迈纳德微纳技术有限公司授权不得商用。

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