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一种水基环保中性清洗液制造技术
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文档序号:23187812
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一种水基环保中性清洗液,属于微电子材料用清洗液的技术领域,按重量百分比计,包括式I结构的烷基醇聚醚0.1‑25%、醇醚类溶剂0.1‑50%、醇类溶剂0.1‑25%,去离子水30‑99.7%,...
该专利属于华璞微电子科技(宁波)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华璞微电子科技(宁波)有限公司授权不得商用。
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