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本发明提供了一种多线切割统一面型的加工方法，步骤如下：晶棒检验、粘棒、线切割工艺选择、切割、下片和清洗。本发明的加工方法通过对线切割来回切割的切割能力控制一样，将线切割加工后的面型统一控制为马鞍型，有利于研磨对才产品BOW/WARP的去除和...
该专利属于江苏澳洋顺昌集成电路股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏澳洋顺昌集成电路股份有限公司授权不得商用。

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